事業・製品循環型窒素精製機
日本唯一 大規模空間対応
デシカント除湿方式を用いたオリジナル精製機
ブース内のガスを循環させ、水分濃度と酸素濃度が1 ppm以下の窒素環境を構築する装置。
有機EL（OLED）ディスプレイなどの大規模な窒素環境を必要とする製造工程で採用されています。
特徴
1. 大風量（最大2300 m3/h）対応
2. 大気ドライモード付
3. マルチブース制御対応
仕様表
| GPU-1000IG | GPU-1600IG | GPU-2300IG | ||
|---|---|---|---|---|
| 水分濃度(ppm) | 1 ppm以下 | |||
| 酸素濃度(ppm) | 1 ppm以下 | |||
| 流量(m3/h) | 1000 | 1600 | 2300 | |
| 精製機 外形寸法(mm) |
長（W） | 4000 | 4600 | 4800 |
| 幅（W） | 1500 | 1800 | 1840 | |
| 高（H） | 2600 | 2560 | 2560 | |
| 冷凍機 ※1 外形寸法(mm) |
長（W） | 1250 | 1250 | 1600 |
| 幅（W） | 900 | 900 | 1050 | |
| 高（H） | 1050 | 1050 | 1350 | |
| 最大対応体積(m3)※2 | 100 | 160 | 230 | |
※1 精製機には冷凍機ユニットが付属されます。
※2 立上時間に応じて、対応体積は異なります。
用途
- 有機EL(OLED)
- リチウムイオン電池
- 全固体電池
- 半導体
