事業・製品半導体

クリーンルーム対応外調機

半導体のサブミクロンプロセスへの高度化に伴い、半導体製造プロセスだけでなく、装置/材料メーカにおいてもクリーン化の重要性が必要が高まっています。
当社は、清浄度だけでなく、温度、水分濃度を精密に管理した最適環境の提供により、お客様のビジネスの競争力向上に貢献いたします。

オゾン分解フィルタ

プラズマ洗浄で発生するオゾンを、オゾン分解フィルタで無害化します。

VOC処理装置のイニシャルコスト、ランニングコスト削減

製造工程で発生するVOCは大気汚染防止の為法令により施設ごとの排出量が制限されています。排ガス中に含まれるVOCが低濃度の場合、そのまま燃焼装置で燃焼させると、燃焼装置の設備が非常に大規模になるばかりでなく、膨大なランニングコストがかかります。

そこで、VOC濃縮装置で排ガスを濃縮すると、燃焼装置の小型化が可能となります。また、排ガスが高濃度になることで燃焼消費のランニングコストが減少し、年間CO2排出量を削減可能です。