사업ㆍ제품반도체

클린룸 대응 외조기

반도체의 서브미크론 프로세스에 대한 고도화에 따라 반도체 제조 프로세스뿐만 아니라 장치/재료 제조사에서도 클린화의 중요성이 높아지고 있습니다.
당사는 청정도뿐만 아니라 온도, 수분 농도를 정밀하게 관리한 최적 환경을 제공하여 고객의 비즈니스 경쟁력 향상에 공헌합니다.

오존 분해 필터

플라스마 세정으로 발생하는 오존을 오존 분해 필터로 무해화합니다.

VOC 처리 장치의 초기 비용, 유지 비용 삭감

제조 공정에서 발생하는 VOC는 대기 오염 방지를 위해 법령에 따라 시설별 배출량이 제한되어 있습니다. 배기 가스 중에 포함된 VOC가 저농도인 경우, 그대로 연소 장치에서 연소시키면 연소 장치의 설비가 매우 대규모가 될 뿐만 아니라 방대한 유지 비용이 듭니다.

따라서 VOC 농축 장치로 배기 가스를 농축하면 연소 장치를 소형화할 수 있습니다. 또한 배기 가스가 고농도가 되어 연소 소비의 유지 비용이 감소하고 연간 CO2 배출량을 줄일 수 있습니다.